| 貨品代碼 | 貨品名稱 | 長度 |
|---|---|---|
| 8486100072 | 生產半導體晶圓用之掃描對準機 | 10 |
| 8486100081 | 附有專供半導體晶圓或網線上下料及傳送設備用之顯微照相顯微鏡 | 10 |
| 8486100082 | 附有專供半導體晶圓或網線上下料及傳送設備用之電子束顯微鏡 | 10 |
| 8486100090 | 其他製造晶柱或晶圓之機器及器具 | 10 |
| 84861000906 | 其他製造晶柱或晶圓之機器及器具 | 11 |
| 84861000ZZZ | 實施資訊保護貨品(補充資訊，勿加計於總量值) | 11 |
| 848620 | 製造半導體裝置或積體電路之機器及器具 | 6 |
| 84862000 | 製造半導體裝置或積體電路之機器及器具 | 8 |
| 8486200011 | 生產半導體用化學氣相沈積器具 | 10 |
| 84862000110 | 生產半導體用化學氣相沈積器具 | 11 |
| 8486200012 | 製造半導體用之物理氣相沈積器具 | 10 |
| 84862000129 | 製造半導體用之物理氣相沈積器具 | 11 |
| 8486200020 | 供半導體晶圓用之雷射、其他光或光子束切削加工之機器 | 10 |
| 84862000209 | 供半導體晶圓用之雷射、其他光或光子束切削加工之機器 | 11 |
| 8486200021 | 以雷射、其他光或光子束加工之工具機 | 10 |
| 8486200029 | 其他半導體製程中，以雷射光束切割連接軌跡之雷射切割機 | 10 |
| 8486200030 | 供半導體材料乾式蝕刻圖形用工具機 | 10 |
| 8486200031 | 供半導體材料乾式蝕刻圖形用工具機 | 10 |
| 84862000316 | 供半導體材料乾式蝕刻圖形用工具機 | 11 |
| 8486200032 | 供蝕刻、去除光阻物或清洗半導體晶圓之噴灑機具 | 10 |
| 84862000325 | 供蝕刻、去除光阻物或清洗半導體晶圓之噴灑機具 | 11 |
| 8486200033 | 供濕蝕刻、顯影、去除光阻物或清洗半導體晶圓之器具 | 10 |
| 84862000334 | 供濕蝕刻、顯影、去除光阻物或清洗半導體晶圓之器具 | 11 |
| 8486200040 | 半導體晶圓磊晶沈積機 | 10 |
| 84862000405 | 半導體晶圓磊晶沈積機 | 11 |