| 貨品代碼 | 貨品名稱 | 長度 |
|---|---|---|
| 8466913000 | 供半導體晶圓製程用之磨光、拋光及研磨機器之零件 | 10 |
| 84669190 | 其他第８４６４節工具機之零件與附件 | 8 |
| 8466919000 | 其他第８４６４節工具機之零件與附件 | 10 |
| 846692 | 第８４６５節工具機用者 | 6 |
| 84669200 | 第８４６５節工具機之零件及附件 | 8 |
| 8466920000 | 第８４６５節工具機之零件及附件 | 10 |
| 84669200000 | 第８４６５節工具機之零件及附件 | 11 |
| 846693 | 第８４５６至８４６１節工具機用者 | 6 |
| 84669300 | 第８４５６至８４６１節工具機之零件及附件 | 8 |
| 8466930000 | 第８４５６至８４６１節工具機之零件及附件 | 10 |
| 84669300009 | 第８４５６至８４６１節工具機之零件及附件 | 11 |
| 8466930010 | 半導體製程中，供製造或修護光罩及網線之聚離子光束移除機之零件 | 10 |
| 8466930020 | 半導體製程中，以雷射光束切割連接軌跡之雷射切割機之零件 | 10 |
| 8466930030 | 供半導體晶圓生產使用，以雷射、其他光或光子束切削任何材料加工之機器之零件 | 10 |
| 8466930040 | 去除光阻物或清洗半導體晶圓之器具之零件 | 10 |
| 8466930050 | 供半導體材料乾式蝕刻圖形用機器之零件 | 10 |
| 8466930090 | 其他第８４５６至８４６１節工具機之零件及附件 | 10 |
| 84669310 | 水刀（水射流）切削機械之零件及附件 | 8 |
| 8466931000 | 半導體製程中，供製造或修護光罩及網線之聚離子光束移除機之零件 | 10 |
| 8466931010 | 水刀（水射流）切削機械之零件及附件 | 10 |
| 84669310105 | 水刀（水射流）切削機械之零件及附件 | 11 |
| 84669320 | 專用或主要用於製造印刷電路、印刷電路組件、第８５１７節所屬貨品零件，或自動資料處理機零件之雷射、其他光、光子束、超音波或放電加工工具機零件及附件 | 8 |
| 8466932000 | 半導體製程中，以雷射光束切割連接軌跡之雷射切割機之零件 | 10 |
| 8466932010 | 專用或主要用於製造印刷電路、印刷電路組件、第８５１７節所屬貨品零件，或自動資料處理機零件之雷射、其他光、光子束、超音波或放電加工工具機零件及附件 | 10 |
| 84669320103 | 專用或主要用於製造印刷電路、印刷電路組件、第８５１７節所屬貨品零件，或自動資料處理機零件之雷射、其他光、光子束、超音波或放電加工工具機零件及附件 | 11 |